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激光刻蝕是生產(chǎn)薄膜太陽能電池模塊的重要工具，特別是高性能超短脈沖激光器，其能提供持續(xù)時間僅幾個皮秒的超短脈沖，這不但能幫助制造商提高產(chǎn)量，而且還能優(yōu)化加工工藝。

在針對解決未來能源問題的討論中，光伏能源作為一種可再生能源扮演著重要角色。技術(shù)進步是實現(xiàn)電能平價消費的一個至關重要的前提條件，比如通過技術(shù)進步將光伏發(fā)電的成本降低到接近傳統(tǒng)能源的成本。

目前，晶硅太陽能電池是光伏市場中的主導產(chǎn)品，其轉(zhuǎn)換效率最高達20%。在晶硅太陽能電池的制造過程中，激光刻蝕技術(shù)主要用于晶圓切割和邊緣絕緣。

太陽能電池

在激光邊緣絕緣過程中，激光輔助摻雜(doping)工藝用于防止電池正面與背面之間的短路而引起的功率損失。越來越多的激光刻蝕技術(shù)被用于激光輔助摻雜工藝中，以改善載流子的遷移率，特別是對于電極的接觸指而言尤為如此。在過去的幾年中，薄膜太陽能電池取得了巨大的發(fā)展，業(yè)界專家們更是希望其未來能在光伏市場中占據(jù)大約20%的市場份額。

薄膜太陽能電池中所采用的膜層只有幾微米厚，因此其在生產(chǎn)中便能節(jié)約大量材料。在薄膜太陽能電池的制造過程中，激光發(fā)揮著決定性的作用。在整個制造過程中，激光將電池結(jié)構(gòu)化并連接成模塊，并對模塊進行相應的刻蝕處理，進而保證所需要的絕緣性能。

成熟的激光刻線工藝

在非晶硅或碲化鎘（CdTe）薄膜太陽能電池模塊的生產(chǎn)過程中，導電薄膜和光伏薄膜被沉積在大面積玻璃基板上。每層薄膜被沉積后，均利用激光對膜層進行刻蝕，并使各個電池之間自動串聯(lián)起來。這樣，就能夠根據(jù)電池寬度設定電池和模塊的電流。精確的選擇性非接觸式激光加工，能夠可靠地集成到薄膜太陽能電池模塊的生產(chǎn)線中。人們通常所說的刻線就是單個激光脈沖刻蝕的一個連貫過程，該脈沖聚焦后光斑大小為30~80μm，因此在P1層刻線中，要采用脈寬為幾十納秒（10~80ns）的脈沖光對玻璃基底進行刻蝕。

透明導電氧化物（TCO，如ZnO和SnO2）通常使用近紅外1064nm光纖激光刻蝕技術(shù)和相對較高的脈沖重復頻率進行加工。通常需要的脈沖重復頻率要超過100kHz。較高的脈沖重復頻率能夠確保切口處的徹底清潔。

根據(jù)材料對激光的吸收系數(shù)的不同，需要為特定的加工工藝選擇合適的激光波長。綠光激光刻蝕機對于硅的破壞閾值遠低于其對TCO的破壞閾值，因此綠光激光可以安全透過TCO膜層后，對吸收層進行刻線。P2層和P3層的刻線機理與P1層相同。

單脈沖激光刻線機理本身的特征對脈沖重復頻率提出了一定的限制。為了防止接觸面半導體層的脫落，加工過程中需要的典型脈沖重復頻率為35~45kHz。常用的刻蝕閾值約為2J/cm2，也就是能將25μJ的激光能量聚焦到直徑為40μm的面積上，其平均功率非常低。由于綠光激光刻蝕機的平均功率均為數(shù)瓦量級，因此能夠?qū)⒐馐止夂筮M行多光束并行加工，從而進一步提高工作效率。

對于P1、P2和P3層的刻線應用而言，用于微加工應用的、輸出波長為1064nm和532nm的結(jié)構(gòu)小巧緊湊的二極管泵浦激光器，無疑是一種理想的選擇，并且這種激光器能夠提供極高的脈沖穩(wěn)定性。這類激光器的脈沖持續(xù)時間為8~ 40ns，脈沖重復頻率為1~100kHz。

激光刻蝕清邊保護

為了防止太陽能電池模塊被腐蝕或短路，必須要在其邊緣留出大約1cm寬邊緣，用于接下來整個電池模塊的封裝。目前多使用噴砂的方法來清除這個邊緣。盡管噴砂方法的投資成本較低，但是這個過程卻會帶來磨損、砂的清除以及防塵污染方面的成本。薄膜太陽能電池模塊的生產(chǎn)需要潔凈的、經(jīng)濟實惠的解決方案，激光刻蝕加工方案無疑是最佳選擇。通過提高激光的平均功率，能夠獲得卓越的加工質(zhì)量。激光刻蝕加工可以實現(xiàn)大約50cm2/s的去除速度，甚至在30s之內(nèi)就能加工完成一塊標準尺寸的太陽能電池模塊。

事實上，用同一個脈沖就可以清除所有的邊緣薄膜層，并且清除速率的提高與激光的平均功率密切相關。具有高平均功率和高脈沖能量的激光，可以一次性清除特定的區(qū)域。最適用這種加工應用的是采用光纖傳輸?shù)募す馄飨到y(tǒng)，其輸出方形或矩形光斑。激光經(jīng)過光纖傳輸后能量分布更加均勻，從而實現(xiàn)清除效果的高度一致性。利用光斑的平行組合，加工效率能比采用傳統(tǒng)光纖提高50%以上，同時還在保證加工安全的前提下降低了脈沖重復頻率。另外，還可以與掃描振鏡結(jié)合適用，以減少加工過程中的非生產(chǎn)周期。當然，激光器也應提供相應的分時輸出選擇，來減少非生產(chǎn)時間。此外，可以采用幾個不同的工作站共享同一臺激光刻蝕機的加工方案，這樣就可以做到產(chǎn)品的上下料時間并不影響激光刻蝕機的生產(chǎn)效率。

推薦設備：導電玻璃激光刻蝕機