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發布時間:2019-04-04 點擊量:5108
采用1064納米激光激光刻蝕機對FTO、ITO導電膜進行線路蝕刻,發現了FTO、ITO存在蝕刻不斷的現象,出現點狀現象,請問如何處理?
管理員回復:通常情況下激光刻蝕FTO或ITO刻不斷有三點愿意需要去做調整:
1.檢查薄膜或玻璃材料是否平整,如果檢測平整性高,需要重新校正平臺、振鏡的精度;
2.檢查激光器的頻率、脈寬設置,可通過加大頻率、降低脈寬來調整;
3.檢查振鏡掃描速度設置,是否開的過快,可降低振鏡掃描速度配合激光器的頻率、脈寬設置問題來做。
另外還可以通過掃描多次的方式來檢測是否同一個位置可不短呈現點狀,還是其他位置也有這種情況,可以判斷出是否不平整或振鏡有問題,還可以設置出光延遲等等問題去解決,如果機器時間過長,還要考慮機器功率衰減的問題,可以通過加大功率來做測試。
管理員 Asked question 2019-05-22
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