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發布時間:2020-04-13 點擊量:4154
激光刻蝕ITO有殘留如何處理?
管理員回復:激光刻蝕ITO、FTO、氧化鎳等透明導電氧化物有殘留的原因大體上分為兩種。一種是因為選用的激光波長或激光工作模式不對以及設置工藝參數不對造成的技術層面殘留;第二種是由于刻蝕線寬太窄,激光加工后的煙霧殘留,未能清除干凈造成二次污染形成。
第一種解決方案是重新調整技術參數,如果是硬件原因造成,建議增大刻蝕的線寬觀察是否仍有殘留,可通過改變硬件條件改善。第二種解決方案是增加吹氣及抽塵裝置,部分廠家售賣機器并未考慮到這個因素,元祿光電根據公司產品經驗推薦使用煙霧凈化裝置,尤其是在北方冬天,需要注意防范,另外某些特殊場合下還需要增加等離子風作為吹氣設施,保證加工過程中不會因為空氣中的水分子造成產品壽命的降低,造成產品材料降解、分解等,如鈣鈦礦電池。
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管理員 Asked question 2020-04-14
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